Оборудование — реакторы MOCVD

Реактор MOCVD: где происходит эпитаксия

Основная программа Jason с 2001 года — создание реакторов MOCVD, в поколениях, которые программа фиксирует с 2002 года. То, что конфигурация реактора определяет для новой системы, специфицируется по каждому проекту.

ПРОГРАММА ЭПИТАКСИИГрафика корпоративного баннера с изображением схемы земного шара
Графическое оформление баннера с официального сайта компании.

Реактор и опубликованная цепочка

Опубликованная цепочка компании называет её собственное оборудование MOCVD первым, до этапа роста — эпитаксиального выращивания на сапфире; сама цепочка изложена на странице эпитаксии. Что включает данная конфигурация и что она несёт для программы слоёв покупателя — это часть того, что обмен по конфигурации устанавливает для этого проекта. Собственная производственная линия компании эксплуатирует реакторы этой программы с 2010 года, когда она построила свою линию UV LED на собственном оборудовании.

Поколения в отчёте этой программы

2002

Успешно разработана первая система GaN MOCVD — первый реактор программы, завершённый через год после основания компании.

2005

Завершена 3-пластинная система GaN MOCVD — платформа переходит от первой системы к многопластинному производственному формату.

2007

Завершена 6-пластинная система GaN MOCVD — зафиксирована в истории компании как проект государственной программы 863.

2010

Компания строит производственную линию UV LED на собственном оборудовании MOCVD и выпускает UV-C LED глубокого ультрафиолета с длиной волны 280 нм — программа реакторов становится производственным инструментом в руках своего создателя.

Поколения зафиксированы по числу пластин за запуск: три пластины в поколении 2005 года, шесть в поколении 2007 года. Формат и загрузка пластин для новой конфигурации подтверждаются по каждому проекту на основе программы слоёв и площадки покупателя — приведённая выше история является отчётом программы, а не таблицей конфигураций для новой системы.

Программа находится внутри национального высокотехнологичного предприятия, опубликованная история которого также фиксирует реструктуризацию 2009 года, привлёкшую инвестиции муниципалитета Циндао и правительства района Лаошань и техническую команду докторов наук, вернувшихся из-за рубежа; исследовательская команда компании публикуется как исследователи, доктора и магистры. Это факты отчёта компании об окружении программы. То, что они устанавливают для конкретной новой конфигурации, решается по каждому проекту в ходе обмена по конфигурации.

Что должна определить спецификация реактора

  • Архитектура камеры под программу слоёв: программа слоёв, из которой строятся приборы покупателя — GaN, AlGaN или исследовательский стек, — указанная в запросе; архитектура, которую несёт для неё конфигурация, устанавливается в ходе обмена по конфигурации.
  • Инфраструктурный интерфейс: подача газов, очистка выхлопа, охлаждение и класс чистоты помещения на площадке установки.

Связанные страницы оборудования

Связанные страницы: программа GaN MOCVD · оборудование · эпитаксия · процесс.

Поколения реакторов и разговор об оборудовании

Приведённый выше отчёт изложен как история. То, что новая конфигурация вырастит для конкретной программы слоёв, — отдельный вопрос, и на него отвечают в ходе обмена по конфигурации — на основе формата пластины, целевых материалов и производительности покупателя, а не вех.

Продаётся ли реактор как стандартная модель?

Конфигурации специфицируются по каждому проекту. Опубликованные поколения описывают отчёт о развитии программы; конфигурация новой системы — формат пластины, загрузка, программа слоёв и объём работ — определяется в ходе обмена по конфигурации и коммерческому предложению для этого проекта.

На что отвечает обмен по конфигурации

На основе формата пластины, программы слоёв, производительности и инфраструктурных данных покупателя обмен по конфигурации устанавливает архитектуру камеры, загрузку и окружающие системы, которые будет нести новая система. Приведённые выше поколения — это история программы, изложенная как история; конфигурация новой системы — собственный результат обмена, определяемый по каждому проекту.

Запросить коммерческое предложение

Сообщите нам требуемый формат и загрузку пластин, целевую программу слоёв, производительность, которую должна поддерживать система, и условия площадки на вашем объекте. Конфигурации реакторов специфицируются по каждому проекту.

Отправить запрос