O reator e a cadeia publicada
A cadeia publicada da empresa nomeia seu próprio equipamento MOCVD primeiro, antes da etapa de crescimento — crescimento epitaxial em safira; a própria cadeia está apresentada na página de epitaxia. O que uma determinada configuração compreende, e o que ela carrega para o programa de camadas do comprador, faz parte do que a troca de configuração estabelece para esse projeto. A própria linha de produção da empresa opera reatores deste programa desde 2010, quando construiu sua linha de LED UV em seu próprio equipamento.
As gerações no registro deste programa
Primeiro sistema GaN MOCVD desenvolvido com sucesso — o primeiro reator do programa, concluído um ano após a fundação da empresa.
Sistema GaN MOCVD de 3 wafers concluído — a plataforma avança do primeiro sistema para o formato de produção multi-wafer.
Sistema GaN MOCVD de 6 wafers concluído — registrado no histórico da empresa como projeto do programa nacional 863.
A empresa constrói uma linha de produção de LED UV em seu próprio equipamento MOCVD e produz LEDs UV profundo de 280 nm — o programa de reatores torna-se uma ferramenta de produção nas mãos de seu próprio fabricante.
As gerações são registradas por wafers por execução: três wafers na geração de 2005, seis na geração de 2007. O formato e o carregamento de wafer para uma nova configuração são confirmados por projeto, de acordo com o programa de camadas e as instalações do comprador — o histórico acima é o registro do programa, não uma tabela de configuração para um novo sistema.
O programa está inserido em uma empresa nacional de alta tecnologia cujo histórico publicado também registra uma reestruturação em 2009, que trouxe investimento do governo municipal de Qingdao e do distrito de Laoshan e uma equipe técnica de doutores retornados do exterior; a equipe de pesquisa da empresa é publicada como pesquisadores, doutores e mestres. Esses são fatos do registro da empresa sobre o contexto do programa. O que eles estabelecem para uma nova configuração específica é resolvido por projeto, na troca de configuração.
O que uma especificação de reator precisa resolver
- Arquitetura da câmara em relação ao programa de camadas: o programa de camadas com o qual os dispositivos do comprador são construídos — GaN, AlGaN ou uma pilha de pesquisa — declarado na consulta; a arquitetura que uma configuração carrega para ele é estabelecida na troca de configuração.
- Interface de instalações: fornecimento de gases, tratamento de exaustão, resfriamento e classe de sala limpa no local de instalação.
Páginas de equipamentos relacionadas
Páginas relacionadas: programa GaN MOCVD · equipamento · epitaxia · processo.
Gerações de reatores e a conversa sobre equipamento
O registro acima é declarado como histórico. O que uma nova configuração cultivará para um determinado programa de camadas é uma questão separada, e é respondida na troca de configuração — de acordo com o formato de wafer, as metas de materiais e a produtividade do comprador, não de acordo com os marcos.
Um reator é vendido como modelo padrão?
As configurações são especificadas por projeto. As gerações publicadas descrevem o registro de desenvolvimento do programa; a configuração de um novo sistema — formato de wafer, carregamento, programa de camadas e escopo — é definida na troca de configuração e cotação para esse projeto.
O que a troca de configuração responde
De acordo com o formato de wafer, o programa de camadas, a produtividade e os insumos de instalações do comprador, a troca de configuração estabelece a arquitetura da câmara, o carregamento e os sistemas circundantes que um novo sistema carregará. As gerações acima são o histórico do programa, declarado como histórico; a configuração de um novo sistema é o próprio resultado da troca, definido por projeto.
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Informe-nos o formato e o carregamento de wafer que você precisa, o programa de camadas que você almeja, a produtividade que o sistema deve sustentar e as condições das instalações em seu local. Configurações de reator são especificadas por projeto.
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