Le réacteur MOCVD : là où se produit l'épitaxie

Le réacteur et la chaîne publiée

La chaîne publiée de l'entreprise nomme son propre équipement MOCVD en premier, avant l'étape de croissance — la croissance épitaxiale sur saphir ; la chaîne elle-même est présentée sur la page épitaxie. Ce que comprend une configuration donnée, et ce qu'elle porte pour le programme de couches de l'acheteur, fait partie de ce que l'échange de configuration établit pour ce projet. La propre ligne de production de l'entreprise exploite des réacteurs de ce programme depuis 2010, année où elle a construit sa ligne de LED UV sur son propre équipement.

Les générations dans l'historique de ce programme

Les générations sont enregistrées en plaquettes par run : trois plaquettes dans la génération 2005, six dans la génération 2007. Le format de plaquette et le chargement pour une nouvelle configuration sont confirmés par projet, en fonction du programme de couches et des installations de l'acheteur — l'historique ci-dessus est l'historique du programme, et non un tableau de configuration pour un nouveau système.

Le programme s'inscrit dans une entreprise nationale de haute technologie dont l'historique publié enregistre aussi une restructuration en 2009, qui a apporté des investissements de la municipalité de Qingdao et du gouvernement du district de Laoshan ainsi qu'une équipe technique de docteurs revenus de l'étranger ; l'équipe de recherche de l'entreprise est publiée comme composée de chercheurs, de docteurs et de titulaires de master. Ce sont des faits de l'historique de l'entreprise concernant le cadre du programme. Ce qu'ils établissent pour une nouvelle configuration spécifique est réglé par projet, dans l'échange de configuration.

Ce qu'une spécification de réacteur doit régler

• Architecture de chambre en fonction du programme de couches : le programme de couches à partir duquel les dispositifs de l'acheteur sont construits — GaN, AlGaN ou un empilement de recherche — indiqué dans la demande ; l'architecture qu'une configuration porte pour celui-ci est établie dans l'échange de configuration.
• Interface d'installation : l'alimentation en gaz, le traitement des effluents, le refroidissement et la classe de salle blanche sur le site d'installation.

Pages équipement associées

Pages associées : programme GaN MOCVD · équipement · épitaxie · processus.

Générations de réacteurs et conversation d'équipement

L'historique ci-dessus est énoncé comme historique. Ce qu'une nouvelle configuration fera croître pour un programme de couches particulier est une question distincte, et elle reçoit réponse dans l'échange de configuration — en fonction du format de plaquette, des cibles de matériaux et du débit de l'acheteur, et non des jalons.

Un réacteur est-il vendu comme modèle standard ?

Les configurations sont spécifiées par projet. Les générations publiées décrivent l'historique de développement du programme ; la configuration d'un nouveau système — format de plaquette, chargement, programme de couches et périmètre — est définie dans l'échange de configuration et de devis pour ce projet.

Ce à quoi répond l'échange de configuration

En fonction du format de plaquette, du programme de couches, du débit et des données d'installation de l'acheteur, l'échange de configuration établit l'architecture de chambre, le chargement et les systèmes environnants qu'un nouveau système portera. Les générations ci-dessus sont l'historique du programme, énoncé comme historique ; la configuration d'un nouveau système est le propre résultat de l'échange, définie par projet.