Оборудование — процесс MOCVD

Процесс MOCVD, запуск за запуском

MOCVD — metal-organic chemical vapour deposition (осаждение из металлоорганических соединений в газовой фазе) — это этап роста в цепочке, которую публикует компания: собственное оборудование MOCVD для GaN, эпитаксиальное выращивание на сапфире, изготовление кристаллов и корпусирование, специфицируемые по каждому проекту.

ПРОГРАММА ЭПИТАКСИИГрафика корпоративного баннера с изображением схемы земного шара
Графическое оформление баннера с официального сайта компании.

Этап в опубликованной цепочке компании

В цепочке, которую публикует компания, это этап роста: собственное оборудование MOCVD для GaN, эпитаксиальное выращивание на сапфире, изготовление кристаллов и корпусирование. Собственная линия компании проходит этот этап с 2010 года, когда она построила свою производственную линию UV LED на собственном оборудовании и выпустила UV-C LED глубокого ультрафиолета с длиной волны 280 нм. Что включает этот этап для новой конфигурации — камера, загрузка и окружающие системы, которые она будет нести, — устанавливается по каждому проекту в ходе обмена по конфигурации на основе указанных покупателем исходных данных.

Что будет запускать новая конфигурация

Какой рецепт будет запускать новая конфигурация реактора для программы слоёв покупателя и что она вырастит, устанавливается по каждому проекту в ходе обмена по конфигурации.

Что указывает запрос на конфигурацию

  • Формат и загрузка пластин: размер пластины и целевое число пластин за запуск по программе.
  • Программа слоёв: стек слоёв, из которого строятся приборы покупателя, указанный в запросе.
  • Производительность: темп запусков, который должна выдерживать система, с режимом запусков в день.
  • Условия площадки: условия на площадке установки — газы, вытяжка, охлаждение и класс чистоты помещения.

Какие элементы охватывает данный проект — среди них поддержка установки и пусконаладка — определяется по каждому проекту в коммерческом предложении, чтобы граница объёма работ была явной до принятия каких-либо обязательств.

Связанные страницы оборудования

Связанные страницы: программа GaN MOCVD · оборудование · реактор · эпитаксия · что такое MOCVD.

Являются ли детали процесса на этой странице производственным рецептом компании?

Нет. Эта страница описывает процесс MOCVD в том виде, как его применяет отрасль — последовательность и переменные являются технологическим знанием, общим для эпитаксии GaN. Конкретный производственный рецепт — это собственный технологический отчёт программы; то, что новая конфигурация реактора вырастит для программы слоёв покупателя, устанавливается по каждому проекту в ходе обмена по конфигурации.

Процесс в отчёте этой компании

Опубликованная история компании датирует программу, лежащую в основе этого процесса: основание в 2001 году для разработки оборудования GaN MOCVD, первая система завершена в 2002 году, 3-пластинное поколение в 2005 году и 6-пластинное поколение в 2007 году — последнее зафиксировано как проект государственной программы 863. В 2010 году компания построила свою производственную линию UV LED на собственном оборудовании и выпустила UV-C LED глубокого ультрафиолета с длиной волны 280 нм; прикладные продукты были коммерциализированы к 2012 году. То, что новая конфигурация вырастит для программы слоёв покупателя, устанавливается по каждому проекту в ходе обмена по конфигурации.

Изложение задания в первом сообщении

Первое сообщение по этому этапу содержит формат и загрузку пластин, программу слоёв, производительность и условия площадки вместе и прямо называет отправную точку — новая установка или дополнительная мощность рядом с существующей линией. В нём спрашивается, какие элементы конфигурация охватывает для этих исходных данных, и запрашивается указание границы объёма работ в коммерческом предложении. Если имеются чертежи или спецификации площадки, они должны быть в том же сообщении вместе с количествами и сроками программы, под которые планируется установка.

Тот же обмен служит для разделения двух видов закупки: компоненты подтверждаются по каждой модели — кристаллы и корпуса из опубликованной цепочки, модули из программы модулей, которую каталог перечисляет рядом с ней, — тогда как эпитаксиальная мощность является разговором об оборудовании, специфицируемым по каждому проекту. В запросе также можно указать режим запусков в день и доступ для обслуживания, требуемый графиком технического обслуживания установки, чтобы конфигурация специфицировалась под реальный режим эксплуатации площадки, а не под номинальный.

Запросить коммерческое предложение

Сообщите нам требуемый формат и загрузку пластин, целевую программу слоёв, производительность, которую должна поддерживать система, и условия площадки на вашем объекте. Конфигурации MOCVD специфицируются по каждому проекту.

Отправить запрос